1、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→二級(jí)反滲透→純水箱→純水泵→用水點(diǎn)
（產(chǎn)水電阻率大于0.5 MΩ.cm）
2、 預(yù)處理→反滲透→純化水箱→離子交換器→純水泵→用水點(diǎn)?
（產(chǎn)水電阻率大于10 MΩ.cm）
3、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→二級(jí)反滲透→EDI裝置→純化水箱→純水泵→用水點(diǎn)
（產(chǎn)水電阻率大于15 MΩ.cm）
4、預(yù)處理→一級(jí)反滲透裝置→二級(jí)反滲透裝置→中間水箱→紫外除T0C裝置→脫
氣裝置→EDI裝置→紫外除T0C裝置→脫氣裝置→氮封純水箱→雙級(jí)拋光混床→終
端超濾裝置→用水點(diǎn)（產(chǎn)水電阻率大于18 MΩ.cm）
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